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  • 深圳路维光电股份有限公司

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      中小尺寸光罩

      主要应用领域: 1.IC Bumping、IC载板、IC Lead Frame等相关行业; 2.LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等精细电子元器件行业。

      1. 详细信息

      铬版精度(Standard Size:6inch Quartz)

      精度/级别

      最高精度

      高精度

      中精度

      一般精度

      最小线宽/线缝

      0.75μm/0.75μm

      3μm/3μm

      5μm/5μm

      10μm/10μm

      线条精度

      ±0.1μm

      ±0.3μm

      ±0.5μm

      ±1.0μm

      总长精度

      ±0.25μm

      ±0.5μm

      ±0.75μm

      ±1.0μm

      图形位置精度

      ±0.25μm

      ±0.5μm

      ±0.75μm

      ±1.0μm

      套合精度

      ±0.25μm

      ±0.5μm

      ±0.75μm

      ±1.0μm

      垂直精度

      ±0.5μrad

      ±0.75μrad

      ±1.0μrad

      ±2.0μrad

       

      铬版材料 (Photomask blank phate)

      材料

      Soda Lime GlassQuartz

      常规尺寸

      3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

      厚度

      1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

      6.35±0.2mm (QZ)

      铬膜

      Low Reflectance Chrome

      光学密度 (λ=450nm)

      Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

      反射率 (λ=436nm)

      Between Plates10±5% In Plate±2%

       


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