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  • 深圳路维光电股份有限公司

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      大尺寸光罩

      主要应用领域: 1.主要应用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板显示行业; 2.HDI、FPC等PCB行业。

      1. 详细信息

      铬版精度(StandardSize:430mmx430mm)

      精度/级别

      最高精度

      高精度

      中精度

      一般精度

      最小线宽/线缝

      0.75μm/0.75μm

      5μm/5μm

      10μm/10μm

      20μm/20μm

      线条精度

      ±0.15μm(QZ)

      ±0.5μm

      ±1.0μm

      ±2.0μm

      总长精度

      ±0.5μm(QZ)

      ±1.0μm

      ±2.0μm

      ±2.0μm

      图形位置精度

      ±0.5μm(QZ)

      ±1.0μm

      ±2.0μm

      ±3.0μm

      套合精度

      ±0.5μm(QZ)

      ±1.0μm

      ±2.0μm

      ±3.0μm

      垂直精度

      ±0.75μrad

      ±2.0μrad

      ±3.0μrad

      ±4.0μrad

      铬版材料 (Photomaskblankphate)

      材料

      SodaLimeGlassQuartz

      最大尺寸

      850mm*1400mm

      常规尺寸

      420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

      800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm

      厚度

      2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

      5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ)

      铬膜

      LowReflectanceChrome

      光学密度(λ=450nm)

      BetweenPlates3.0±0.3InPlate±0.3

      反射率(λ=436nm)

      BetweenPlates10±5%InPlate±2%

       


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